En avancerad lufthanteringsenhet som skapar exakta mikroklimat för känsliga anordningar inom farmaceutiska och medicinska tillämpningar.

Temperaturer mellan 15°C och 45°C och luftfuktighetsnivåer på 30% till 98% relativ fuktighet kan förinställas på kontrollsystemet för mikromiljö, så att man erhåller luft med kontrollerad temperatur och fuktighet för punktprocesstillämpningar.

Klicka här för mer info

Luftbefuktning vid halvledartillverkning

Luftfuktighetskontroll vid tillverkning av halvledare används för att förhindra uppkomsten av statisk elektricitet, dimensionsförändringar på kiselbrickan och för att kyla produktionsmiljön.

Okontrollerade statiska urladdningar som inträffar under tillverkningen kan skada ytan på halvledarna och försämra produktionsresultatet markant. Tillverkningsprocessen genererar värme som i sin tur gör luften torrare. Eftersom uppkomsten av statisk elektricitet gynnas av torr luft, används luftbefuktare för att kontrollera att den omgivande miljön håller en relativ fuktighet (%RF) på 55%. Detta gör att den statisk elektriciteten förlorar sin effekt av sig själv, vilket eliminerar risken för skada på halvledarnas yta.

Däremot är kiselbrickans tryckta yta mycket känslig för fukt. De ledande delarna på ytan kan deformeras under tillverkningsprocessen om de utsett för felaktiga fuktighetsnivåer. Därför krävs en extremt noggrann övervakning av fuktigheten med en daggpunkt på ±0,1°C under varje 40-minutersperiod. Större variationer än dessa skadar de ledande delarna och halvledaren är förstörd.

Ångluftbefuktare såsom Neptronic SKE kan tillhandahålla denna typ av exakt kontroll när den används tillsammans med PureFlo RO-vattenfilter.

Även om ånga ger en extremt noggrann kontroll, kan speciella sprejluftbefuktare för kallvatten, som t ex JetSpray, användas eftersom dunstningen av sprejen skapar en adiabatisk kylningseffekt. Detta hjälper till att sänka temperaturen under tillverkningsprocessen och minskar behovet av kylning.

JS Luftbefuktare erbjuder en skräddarsydd JetSpray luftbefuktare för halvledartillämpning med ett fraktionskontrollmunstycke som ger den exakta och jämna reglering som krävs för den här typen av tillämpningar. Det här ger inte bara nedkylning, utan även mycket lägre driftskostnader än ånga eftersom det använder sig av kallvatten.